一、brooks气体质量流量计价格概览

Brooks的数字与模拟热式质量流量控制器具有业界*的性能—我们的许多产品都已连续工作了20年以上。我们的新型热式质量流量设备在响应时间、精度、可重复性、调节比及自诊断方面均具有显著的优势。

我们的热式质量流量产品还通过了多种防护（IP）认证，适用于多种危险场所。

二、brooks气体质量流量计价格产品特点

较低的泄漏率

结构紧凑

内螺纹排气口抛光处理

常闭阀

对安装位置不敏感

三、技术参数

数字信号/模拟信号输出,可通过电脑直接显示控制,可配单/四/八通道显示控制器

介质:可选H2,O2等非腐蚀性气体或SiO2,SO2等腐蚀性气体

流量范围:0.03-30slpm

量程比：50:1

zui大工作压力: 1500psi(10.432Mpa)

气路接头: 1/4"VCR或1/4"SWG

电气接头:15 Pins D-Type或Card-edge

精度:±1%FS

重复性：0.25% of rate

响应时间：1-3s

差压要求：3-6bar（压差要求与介质、量程有关）

操作温度范围：5~65℃

输出信号：0-5VDC或4-20mA

电源：+/-15V

四、brooks气体质量流量计其他系列产品

SLA5800S---数字型气体质量流量计/控制器

SLA5800 enhanced series

4800 series

5800S series

5851EM